真空炉炉内的压力可以提取成低于大气压力的工业炉。真空炉电加热﹐加热工件表面不氧化﹐不脱碳﹐变形小﹐良好的机械性能。用真空炉熔炼金属有利于去除杂质﹐成品针孔少﹐偏析小﹑质量好。真空炉适用于高质量﹑高纯度﹑熔炼和加热难熔金属﹐例如用於钨﹑钼﹑钽﹑铌﹑钛﹑耐热合金钢的冶炼和磁性材料﹐电工材料﹑高强钢﹑不锈钢﹑工具钢﹑模具钢等的热处理。真空炉出现在20世纪30年代左右。1927年，美国制造了电气材料真空退火炉。1953年，真空自耗电弧炉已用于工业熔炼海绵钛。真空感应炉在20世纪50年代左右的工业中得到了广泛的应用。1960年，美国开发了一种油淬真空炉。
真空炉一般由炉膛组成﹑电热装置﹑密封炉壳﹑真空系统﹑供电系统和温度控制系统。密封炉壳由碳钢或不锈钢焊接而成。﹐可拆卸部件的接头表面用真空密封材料密封。为防止炉壳加热后变形和密封材料变质﹐炉壳一般采用水冷或气冷冷却。炉子位于密封炉壳内。根据炉子的用途。﹐炉内装有不同类型的加热元件﹐如电阻﹑感应线圈﹑电极和电子枪等。熔炼金属的真空炉内装有坩埚﹐有的还配备了自动浇注装置和装卸机械手。真空系统主要由真空泵组成﹑由真空阀和真空计组成。
20世纪50年代，无芯感应炉发展迅速。后来，电子束炉出现了，用电子束冲击固体燃料，可以加强表面加热，熔化高熔点的材料。用于锻造和加热的炉Z是手工锻造炉，其工作空间是一个填充煤的凹槽，燃烧的空气由罐的下部供应，工件埋在煤中加热。该炉的热效率很低，加热质量不好，只能加热小工件，未来发展成耐火砖半封闭或全封闭炉，可以用煤、气或油作为燃料，也可以用电作为热源，工件在炉内加热。
为了方便加热大型工件，出现了适合加热钢锭和大钢坯的汽车炉，加热长杆也出现了井炉。20世纪20年代以后，出现了各种机械化和自动化炉类型，可以提高炉的生产率，改善劳动条件。随着燃料资源的发展和燃料转换技术的进步，工业炉燃料逐步改为炉煤气、城市煤气、天然气、柴油、燃料油等气体和液体燃料，开发了各种适合所用燃料的燃烧装置。