如果真空炉在正常实验中存在液体，则需要一个液体蒸发过程(在高真空下可以气化，无需加热)。这部分液体可以通过长时间拉动真空来气化，从而达到高真空(等待稳定性)。如果长时间达不到目标气压，就要考虑系统和罗茨泵。可以直接测量罗茨泵的极限真空(不接入其他系统)。如果完好，就是系统的密封性能。
真空热处理炉的水冷装置、炉壳、炉盖、电热元件导别处理(水冷电极)、中间真空隔热门和其他部件都在真空和加热状态下工作。在这种极其不利的条件下工作，必须保证每个部件的结构不变形不损坏，真空密封圈不过热不烧坏。因此，水冷装置应根据不同的情况设置在每个部件上，以确保真空热处理炉的正常运行和足够的使用寿命。
使用低电压大电流:在真空容器中，当真空空度在几个支架和一个lxlo-1支架的范围内时，真空容器中的通电导体会在较高的电压下产生闪光放电现象。在真空热处理炉中，会严重产生弧光放电，烧毁电热元件和隔热层，造成重大事故和损失。因此，真空热处理炉电热元件的工作电压一般不超过801100伏。同时，在设计电热元件结构时，应采取有效措施。例如，尽量避免 部件，电极之间的距离不应太小或太窄，以防止闪光放电或弧光放电。
大多数加热和隔热材料只能在真空状态下使用:真空热处理炉的加热和隔热衬里在真空和高温下工作，因此对这些材料提出了耐高温、低蒸汽压、良好的辐射效果和低导热系数的要求。对抗氧化性能要求不高。因此，加热和隔热材料广泛应用于真空热处理炉中。这些材料在大气中容易氧化，所以这些加热和隔热材料不能用于常规的热处理炉。
严格的真空密封:众所周知，金属零件的真空热处理都是在封闭的真空炉中进行的。因此，获得和维持炉子原有的漏气率，保证真空炉的工作真空度，对保证零件的真空热处理质量具有重要意义。因此，真空热处理炉的一个关键问题是要有可靠的真空密封结构。为了保证真空炉的真空性能，真空热处理炉的结构设计必须遵循一个基本原则，即炉体应采用气密焊接，炉体应尽量少开或不开孔，少使用或少使用动态密封结构，以减少动态密封结构。
自动化程度高:真空热处理炉自动化程度高的原因是金属工件的加热、冷却等操作需要十几个甚至几十个动作。这些动作在真空热处理炉内进行，操作人员无法接近。同时，加热保温后，金属工件必须在15秒内完成六个动作和淬火过程。在如此快速的条件下完成许多动作，很容易导致操作人员紧张，导致操作失误。因此，只有高度的目动化才能准确、及时地按照程序进行动作协调。